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同济大学学位论文原创性声明
研究计划
第Ⅰ部分绪论
第一章前言
第一节高纯水中弱离子化杂质和有机物的危害及其要求
第二节高纯水中弱离子化杂质(硅、硼、氨和CO2)和有机物去除方法一高纯水新技术
第三节EDI的发展、原理和对弱离子化杂质去除研究概况
第四节185nmUV降解水中有机物研究现状
第五节半导体工艺中排放废气的治理及检测
第六节本课题研究的意义和内容
第二章理论基础
第一节EDI去除水中弱离子化杂质理论基础
第二节185nmUV降解水中有机物的理论基础
第三章实验部分
第一节实验设备、试剂和装置
第二节分析检测方法
第三节实验内容
第Ⅱ部分EDI去除高纯水弱离子化杂质的研究
第四章EDI膜堆电阻的研究
第一节EDI膜堆电阻的理论研究
第二节EDI电压/电流、进水流量、进水电导对膜堆电阻的影响
第三节小结
第五章EDI去除高纯水中弱离子化杂质的研究
第一节EDI去除高纯水中硅的研究
第二节EDI去除高纯水中硼的研究
第三节EDI去除水中氨的研究
第四节EDI去除水中CO2的研究
第五节小结
第六章EDI除去水中弱离子化杂质的物种形态研究
1理论基础
2实验部分
3实验结果与讨论
第Ⅲ部分185nmUV降解水中有机物的研究
第七章185nmUV降解水中有机物的研究
第一节185nmUV降低高纯水中的TOC浓度研究
第二节185nmUV降解水中对氯苯酚(4-CP)、对硝基苯酚(4-NP)和罗丹明B(Rh B)的研究
第三节小结
第八章185nmUV降解水中有机物的动力学分析与研究
第一节185nmUV降解有机物的动力学理论模型分析
第二节185nmUV降解水中4-CP、4-NP和Rh B动力学分析
第三节185nmUV降解水中有机物反应速率常数(k)理论分析
第四节影响185nmUV降解水中有机物反应速率常数的因素
第五节小结
第九章185nmUV降解水中有机物机理的研究
第一节185nmUV光解超纯水的研究
第二节185nmUV降解水中4-CP机理的研究
第三节185nmUV降解Rh B机理的研究
第四节小结
第Ⅳ部分半导体工艺中排放废水的治理及检测
第十章半导体工艺中排放废气的治理及检测
第一节半导体工艺中排放废气的治理
第二节半导体生产排放的废气中砷和磷的检测
第三节小结
第V部分结语
第十一章结论与展望
第一节结论
第二节展望
参考文献
攻读博士学位期间已发表或待发表论文
致谢
