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目录
第一章 绪论
1.1 引言
1.2 超声辐射力理论的发展
1.3 国内外超声分离的研究情况
1.4 本课题组的前期工作
1.5 本文的内容
第二章 超声分离原理及MEMS超声分离器
2.1 超声分离原理
2.2 MEMS超声分离器
第三章 MEMS超声分离器流体腔二维简正模式的谐振频率研究
3.1 MEMS超声分离器流体腔的二维等效电路模型研究
3.2 超声分离器流体腔二维简正模态的有限元仿真分析
第四章 基于二维简正模式的MEMS超声分离器的设计及制作
4.1 MEMS超声分离器的结构设计
4.2 MEMS超声分离器的制作工艺研究
4.3 制作的MEMS超声分离器
第五章 超声分离实验研究
5.1 超声分离实验平台
5.2 超声分离实验研究
第六章 总结与展望
致谢
参考文献
攻硕期间取得的研究成果