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第1章绪论
1.1背景及意义
1.2研究现状
1.3本论文的主要工作及创新
第2章双频激光干涉仪的原理及特性分析
2.1工作原理的理论分析
2.2外差干涉的特性
2.3双频激光干涉仪工作原理及特性对系统组成的要求
2.4小结
3.1激光稳频技术概述
3.2双纵模热稳频技术
3.3小结
第4章双纵模双频激光干涉仪的结构组成
4.1双纵模双频激光干涉仪系统的组成
4.2角锥镜光路系统
4.3准直和滤波系统
4.4延迟线移相系统
4.5小结
第5章细分及可逆计数系统
5.1后续电路系统的设计要求
5.2计数系统总体框图的建立
5.3细分及可逆计数电路
5.4小结
第6章精度分析及实验研究
6.1精度理论分析
6.2实验验证
6.3小结
7.1总体方案
7.2基准测量仪器(双纵模双频激光干涉仪)部分
7.3机电结构部分
7.4微机接口部分
7.5软件部分
7.6不确定度分析
7.7系统测定方法
7.8小结
第8章结论
8.1双纵模双频激光干涉仪研究方面
8.2电感差动式位移传感器自动检定系统研究方面
8.3后续有待开展的研究工作
8.4研究工作的创新点
参考文献
作者在读其间发表论文
声明
致谢
附录
