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第一章 文献综述
1.1多晶硅行业及副产物四氯化硅简介
1.2多晶硅生产副产物四氯化硅综合利用技术
1.3高纯四氯化硅精制工艺研究进展
1.4化工过程模拟及Aspen Plus软件介绍
1.5差压热耦合精馏节能技术及隔板精馏节能技术介绍
1.6吸附法精制高纯四氯化硅研究进展
1.7本文研究目的及意义
第二章 精馏法制备高纯四氯化硅工艺设计与模拟
2.1高纯四氯化硅精制流程的建立
2.2高纯四氯化硅精制工艺简捷模拟
2.3高纯四氯化硅精制工艺严格模拟
2.4高纯四氯化硅精制工艺模拟优化结果
2.5本章小结
第三章 差压热耦合节能技术在四氯化硅精制工艺中的应用
3.1差压热耦合节能工艺的建立
3.2差压热耦合节能精馏工艺的模拟
3.3差压热耦合节能精馏工艺经济性分析
3.4本章小结
第四章 隔壁精馏技术在四氯化硅精制工艺中的应用
4.1隔壁精馏工艺建立与模拟
4.2隔壁精馏工艺参数优化
4.3隔壁精馏塔操作参数优化结果
4.4隔壁精馏塔经济性分析
4.5本章小结
第五章 高纯四氯化硅吸附法除硼研究
5.1实验准备部分
5.2实验仪器与设备
5.3实验方法
5.4实验结果分析
5.5吸附动力学研究
5.6本章小结
第六章 结论与展望
参考文献
发表论文和参加科研情况说明
致谢
