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第一章绪论
1.1纳米科技
1.1.1纳米科技概述
1.1.2纳米科技的应用
1.2纳米加工技术
1.3本课题的研究现状
1.4本课题研究的主要目的和内容
第二章AFM电场诱导氧化理论
2.1引言
2.2原子力显微镜
2.3基于AFM电场诱导阳极氧化理论
2.3.1针尖与样品间的局部电场
2.3.2电场诱导阳极氧化理论
2.4硅表面与探针间的氧化机理分析
2.5小结
第三章AFM纳米加工系统的构建
3.1 DI多功能SPM的简介
3.2 AFM纳米加工系统的设计
3.2.1加工方式的选择
3.2.2硬件设计
3.2.3软件设计
3.3温湿度测量系统设计
3.3.1测量要求与电路设计
3.3.2软件设计
3.3.3系统测试与分析
3.4探针的选择与样品的制备
3.4.1探针的选择
3.4.2样品的清洗
3.5小结
第四章基于AFM动态电场加工及其电流检测与分析
4.1引言
4.1.1动态电场氧化加工的含义
4.1.2实验前准备
4.1.3加工信号定义
4.2氧化加工过程中的微弱电流来源分析
4.2.1探针与样品之间的隧道效应
4.2.2探针与样品之间的场发射效应
4.3调制电压下的氧化加工及其电流检测与分析
4.3.1不同频率下的氧化加工及其电流检测
4.3.2不同占空比下的氧化加工及其电流检测
4.3.3不同信号波形下的氧化加工及其电流检测
4.4轻敲模式下的氧化加工及其实验分析
4.4.1振动幅度对加工的影响
4.4.2氧化时间对加工的影响
4.4.3偏压幅值对加工的影响
4.4.4速度快慢对加工的影响
4.4.5轻敲模式下电流检测情况
4.5轻敲模式与接触模式下氧化加工对比
4.6小结
第五章总结与展望
参考文献
发表论文和参加科研情况说明
致 谢
