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第一章绪论
1.1引言
1.2国内外大行程超精密工作台发展现状及存在问题
1.3超精密工作台的控制方法
1.3.1经典控制方法
1.3.2现代控制方法
1.3.3智能控制
1.4直线电机控制技术发展简介
1.5层次分析法简介
1.6课题的提出及本文的目的
第二章超精密工作台的搭建及关键技术
2.1概述
2.2运动控制卡的比较与选择
2.2.1运动控制卡概述
2.2.2 NI PCI-7350系列运动控制卡
2.2.3 PMAC运动控制卡
2.2.4运动控制卡的比较与选择
2.3直线电机的选型计算
2.3.1直线电机简介
2.3.2主要直线电机厂商及其产品简介
2.3.3直线电机选型计算
2.4光栅尺的选择
2.4.1主要光栅尺厂商介绍
2.4.2光栅尺参数比较与选择
2.5本章小结
第三章经典控制系统的仿真
3.1超精密工作台进给系统数学模型的建立
3.1.1直线电机伺服单元数学模型
3.1.2影响系统伺服性能的扰动因素及其补偿方法
3.1.3进给系统数学模型
3.1.4 PID调节器参数的实验整定方法
3.2控制系统的仿真结果
3.2.1单位反馈PID控制
3.2.2带加速度前馈的PID控制
3.2.3位置环速度环双反馈PID控制
3.2.4纯滞后系统Smith预估控制
3.3本章小结
第四章控制方案的优化选择
4.1层次分析法简介
4.2控制系统的评价与选择
4.2.1递阶层次结构的建立
4.2.2构造判断矩阵，计算权重并进行一致性检验
4.2.3合成权重的计算
4.3本章小结
第五章超精密工作台控制系统的设计
5.1概述
5.2信号连接及引脚定义
5.2.1运动I/O连接器
5.2.2数字I/O连接器
5.3本章小结
第六章结论与展望
6.1本文结论
6.2展望
参考文献
发表论文和参加科研情况说明
致 谢
