基于MEMS技术的可调谐光滤波器及可变光衰减器的研究和制作

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第一章 绪论

§1.1引言

§1.2可调谐光滤波器的发展现状

§1.2.1可调谐光滤波器种类及发展概况

§1.2.2 MEMS-FP可调谐光滤波器的应用前景

§1.2.3 MEMS-FP可调谐光滤波器的研究现状

§1.3可变光衰减器的发展现状

§1.3.1可变光衰减器的种类及发展概况

§1.3.2 MEMS可变光衰减器在全光网中的应用前景

§1.3.3 MEMS可变光衰减器的研究现状

§1.4微镜制作工艺的进展

§1.5研究报告的意义和主要内容

§1.5.1研究工作的目的和意义

§1.5.2研究工作的创新点

§1.5.3研究工作内容

第二章 Fabry-Perot腔滤波器的光学性能分析

§2.1 Fabry-Perot腔滤波器的光学理论基础

§2.1.1多光束干涉原理

§2.1.2 FP滤波器特征参量

§2.1.3 FP滤波器调谐方式

§2.2镜面反射相移

§2.2.1正入射

§2.2.2斜入射

§2.3 FP滤波器的斜入射特性

§2.3.1偏振相关性

§2.3.2光束移走效应

§2.4镜面缺陷对光学性能的影响

§2.4.1镜面缺陷对精细度和带宽的影响

§2.4.2镜面缺陷对损耗的影响

§2.4.3反射率不对称对损耗的影响

§2.5衬底材料吸收对损耗的影响

§2.6增透膜对透射光谱的影响

§2.7本章小结

第二章 压电驱动和电磁驱动Fabry-Perot腔可调谐光滤波器的研制

§3.1压电驱动腔长调谐FP滤波器的研制

§3.1.1结构方案及制备工艺

§3.1.2关键技术

§3.1.3研制结果及测试分析

§3.1.4结论

§3.2电磁驱角度调谐FP滤波器的研制

§3.2.1结构方案及制备工艺

§3.2.2关键技术

§3.2.3研制结果及测试分析

§3.2.4结论

§3.3本章小结

第四章 静电驱动Fabry-Perot腔可调谐光滤波器的研制

§4.1静电驱动理论基础

§4.1.1静态平衡方程

§4.1.2运动方程

§4.1.3可靠工作条件

§4.2结构方案和设计指标

§4.3滤波器设计

§4.3.1光学设计与模拟

§4.3.2平板驱动器结构设计与模拟

§4.4工艺制作及测试

§4.4.1工艺流程

§4.4.2刻蚀工艺

§4.4.3光学介质膜图形化工艺

§4.4.4键合面金属引线工艺

§4.4.5钠离子沾污保护

§4.4.6气压平衡设计

§4.4.7测试结果

§4.5本章小结

第五章 扭转微镜可调光衰减器的研制

§5.1研制方案及设计指标

§5.2静电驱动扭转微镜VOA的理论基础

§5.2.1光学原理

§5.2.2静电驱动原理

§5.3光学设计与模拟

§5.3.1反射膜层设计

§5.3.2双光纤准直器设计

§5.4扭转微镜设计与模拟

§5.4.1结构参数设计

§5.4.2数值模拟计算

§5.5工艺制作

§5.6测试分析

§5.6.1插入损耗

§5.6.2电压-损耗特性

§5.6.3 WDL

§5.6.4 PDL

§5.6.5响应时间

§5.7本章小结

第六章 总结

参考文献

致谢