基于多波导垂直集成技术和蚀刻衍射光栅的光子集成接收器的研究

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致谢

摘要

1绪论

1．1引言

1．2应用于40／100G-BASE LR4的接收器

1．2．1基于分立元件集成的接收器

1．2．2基于混合集成的接收器

1．2．3 InP基单片集成的接收器

1．3多波导垂直集成技术的发展与现状

1．4波分复用器件

1．4．1波分复用器种类

1．4．2 EDG的研究现状与进展

1．5本论文的主要研究内容和章节安排

2蚀刻衍射光栅

2．1蚀刻衍射光栅基本原理和重要参数

2．1．1基本原理与几何结构

2．1．2 EDG的重要结构参数

2．1．3 EDG的主要性能指标

2．2 EDG的设计与仿真

2．2．1 EDG的设计方法

2．2．2 EDG的数值仿真

3 基于InP平台面向LR4应用的EDG波分复用器

3．1基于InP平台的EDG的设计及仿真

3．2基于InP的EDG制作关键工艺与流程

3．2．1 InP基无源器件关键工艺

3．2．2 InP基EDG制作流程

3．3基于InP平台的EDG的实验结果

3．4光谱平坦化设计的EDG

3．4．1光谱平坦化的方法概述

3．4．2弧形齿面法设计原理及仿真

3．4．3实验结果

4基于多波导垂直集成平台的SSC和探测器的设计

4．1常用的InP基集成技术

4．1．1量子阱混杂技术

4．1．2偏置量子阱技术

4．1．3端对接技术

4．1．4选择区域外延

4．1．5多波导垂直集成技术

4．2模斑转换器

4．2．1模斑转换器的基本理论

4．2．2 SSC设计流程与结果分析

4．3探测器结构设计与芯片整体工艺流程

4．3．1探测器结构设计

4．3．2芯片整体工艺流程

5总结与展望

参考文献

作者简历