氧化锌纳米结构场效应晶体管与光探测器件的研究

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致谢

第1章 绪论

1.1 氧化锌基本性质

1.2 氧化锌纳米结构制备

1.3 氧化锌纳米结构的物理特性与应用

1.4 MOS场效应晶体管原理与性能表征

1.5 本文主要研究内容与思路

第2章 介电层对氧化锌场效应晶体管的影响研究

2.1 引言

2.2 实验方法

2.3 单根氧化锌纳米线场效应晶体管性能

2.4 介电层还原气氛退火对纳米结构晶体管性能的影响

2.5 本章小结

第3章 气氛退火及表面修饰对氧化锌纳米线电输运性能的影响研究

3.1 引言

3.2 实验方法

3.3 退火条件对纳米线电输运性能的影响

3.4 金纳米颗粒修饰氧化锌纳米线对其晶体管性能的影响

3.5 本章小结

第4章 超薄氧化锌纳米带晶体管研究

4.1 引言

4.2 实验方法

4.3 超薄氧化锌纳米带晶体管性能

4.4 MoOx作为电极对晶体管性能的调控

4.5 MoOx修饰氧化锌表面对晶体管性能的调控

4.6 本章小结

第5章 基于氧化锌纳米线的紫外光探测器研究

5.1 引言

5.2 实验方法

5.3 单根氧化锌纳米线紫外光探测器的性能研究

5.4 散乱网状纳米线光探测器的制备与研究

5.5 本章小结

第6章 总结

参考文献

个人简历及博士期间发表的研究成果