MEMS谐振器及陀螺仪的设计、加工与测试

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致谢

摘要

1 绪论

1．1 研究背景

1．2 国内外研究现状

1．2．1 MEMS谐振器

1．2．2 谐振陀螺仪

1．3 课题研究内容

1．4 本章小结

2 基于硅的MEMS谐振器设计、加工和测试

2．1 代替晶振的32kHz谐振器

2．1．1 工作原理

2．1．2 ANSYS仿真

2．2 双端固定音又(DETF)谐振器

2．2．1 工作原理

2．2．2 ANSYS仿真

2．3 器件加工

2．4 器件测试

2．4．1 32kHz谐振器的谐振频率测试

2．4．2 DETF谐振器的谐振频率测试

2．5 本章小结

3 基于金刚石的MEMS谐振器和陀螺仪的设计和仿真

3．1 MEMS半球谐振器

3．1．1 工作原理

3．1．2 有限元分析及ANSYS仿真

3．2 MEMS半环谐振器

3．2．1 工作原理

3．2．2 结构设计和ANSYS仿真

3．3 基于金刚石薄膜的32kHz谐振器

3．4 基于金剐石薄膜的双端固定音又谐振器(DETF)

3．5 基于金刚石薄膜的振动环式谐振陀螺仪

3．5．1 工作原理

3．5．2 布朗噪声分析和ANSYS仿真

3．6 本章小结

4 基于金刚石的MEMS谐振器和陀螺仪的加工和测试

4．1 金刚石MEMS三维半球和半环谐振器加工

4．1．1 三维加工工艺

4．1．2 半球和半环凹模的加工

4．1．3 凹模圆度分析

4．1．4 盒刚石沉积和金刚石材料分析

4．2 金刚石MEMS平面谐振器和陀螺仪加工

4．2．1 平面加工工艺

4．2．2 金刚石MEMS平面器件加工过程

4．3 金刚石MEMS谐振器测试

4．4 本章小结

5 总结与展望

5．1 论文总结

5．2 工作展望

参考文献