声明
摘要
第一章 前言
第二章 文献综述
2．1 ZnO的结构与性能
2．1．1 ZnO的晶体结构
2．1．2 ZnO的能带结构
2．1．3 ZnO的物理与化学性质
2．1．4 ZnO的光学性能
2．1．5 ZnO的电学性能
2．2 ZnO的缺陷与掺杂
2．2．1 ZnO的本征缺陷
2．2．2 ZnO的非故意掺杂
2．2．3 ZnO的p型掺杂
2．3 ZnO的合金化
2．3．1 ZnO的能带工程
2．3．2 ZnMgO合金
2．3．3 ZnCdO合金
2．4 ZnO基量子阱与超晶格
2．4．1 半导体超晶格与量子阱简介
2．4．2 ZnO基量子阱
2．5 非极性ZnO薄膜及相关研究进展
2．5．1 制备非极性ZnO薄膜的意义
2．5．2 非极性ZnO薄膜的研究现状
2．6 本文研究思路
第三章 实验原理、生长方法和表征技术
3．1 脉冲激光沉积技术的原理与特点
3．1．1 脉冲激光沉积技术的特点
3．1．2 脉冲激光沉积技术的原理
3．2 脉冲激光沉积系统
3．3 实验方法
3．3．1 靶材的制备
3．3．2 衬底清洗
3．3．3 样品制备
3．4 性能表征
第四章 非极性ZnO薄膜的生长及性能研究
4．1 在m面蓝宝石上制备m面ZnO薄膜
4．1．1 生长温度对m面ZnO薄膜的影响
4．1．2 沉积压强对m面ZnO薄膜的影响
4．2 在r面蓝宝石上制备a面ZnO薄膜
4．2．1 a面ZnO薄膜的结构
4．2．2 a面ZnO薄膜的形貌
4．2．3 a面ZnO薄膜的电学性能
4．2．4 a面ZnO薄膜的光学性能
4．3 本章小结
第五章 Na掺杂非极性ZnO薄膜研究
5．1 Na掺杂非极性a面ZnO薄膜
5．1．1 Na含量对a面ZnO薄膜的影响
5．1．2 村底温度对Na掺杂a面ZnO薄膜的影响
5．1．3 沉积压强对Na掺杂a面ZnO薄膜的影响
5．2 Na掺杂非极性m面ZnO薄膜
5．2．1 Na掺杂m面ZnO薄膜的结构
5．2．2 Na掺杂m面ZnO薄膜的表面形貌
5．2．3 Na掺杂m面ZnO薄膜的电学和光学性能
5．3 本章小结
第六章 非极性a面ZnO基合金薄膜生长及性能研究
6．1 非极性a面ZnMgO薄膜的生长以及性能研究
6．1．1 生长温度对非极性a面ZnMgO合金薄膜的影响
6．1．2 沉积压强对非极性a面ZnMgO合金薄膜的影响
6．2 非极性a面ZnCdO薄膜生长和性能的影响
6．2．1 沉积压强对非极性a面ZnCdO合金薄膜中Cd含量的影响
6．2．2 非极性a面ZnCdO合金薄膜的晶体结构
6．2．3 非极性a面ZnCdO合金薄膜的表面形貌
6．2．4 非极性a面ZnCdO合金薄膜的化学态
6．2．5 非极性a面ZnCdO台金薄膜的光学性能
6．3 本章小结
第七章 a面ZnMgO／ZnO多量子阱研究
7．1 非极性a面ZnMgO／ZnO量子阱制备方法
7．2 非极性a面ZnMgO／ZnO多量子阱的结构
7．3 非极性a面ZnMgO／ZnO多量子阱的光学性能
7．3．1 非极性a面ZnMgO／ZnO单量子阱与多量子阱的光学性能
7．3．2 非极性a面ZnMgO／ZnO多量子阱中的量子限域效应
7．3．3 非极性a面ZnMgO／ZnO多量子阱中的激子束缚能
7．3．4 非极性a面ZnMgO／ZnO多量子阱中的激子局域化效应
7．3．5 非极性a面ZnMgO／ZnO多量子阱中的激子激活能
7．4 a面与c面ZnMgO／ZnO多量子阱比较
7．4．1 非极性a面与极性c面ZnMgO／ZnO多量子阱的结构
7．4．2 非极性a面与极性c面ZnMgO／ZnO多量子阱表面形貌
7．4．3 非极性a面与极性c面ZnMgO／ZnO多量子阱光学性能研究
7．5 非极性a面n-ZnO／MQWs／p-ZnO 同质结
7．6 本章小结
第八章 结论
8．1 全文总结
8．2 本文主要创新点
8．3 未来工作展望
参考文献
致谢
个人简历
攻读博士学位期间发表的论文和其他科研成果
