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第一章 文献综述
1.1 概述
1.1.1传感器的定义和组成
1.1.2湿度传感器
1.2 烧结陶瓷型湿度传感器
1.2.1基本结构
1.2.2感湿导电机理
1.2.3主要材料
1.2.4特点
1.3 高分子电容型湿度传感器
1.3.1基本结构和工艺流程
1.3.2感湿机理
1.3.3主要材料
1.3.4特点
1.3.5发展趋势
1.4 高分子电阻型湿度传感器
1.4.1感湿机理
1.4.2湿敏材料
1.4.3电极结构
1.4.4电极和基片材料
1.4.5老化
1.4.6复阻抗谱分析
1.4.7外围电路和信号处理
1.5 高分子湿度传感器的展望
1.5.1国内外产品介绍
1.5.2应用
1.5.3国内外市场现状
1.5.4发展方向
第二章 课题的目的、意义及研究内容
2.1 课题的目的意义
2.2 主要研究内容
第三章 湿敏材料及湿敏元件的制备
3.1 湿敏材料
3.2 湿敏元件的基本结构和制备
3.2.1湿敏元件的结构
3.2.2湿敏溶液的配制
3.2.3湿敏元件制备
第四章 湿敏元件感湿特性测试系统和老化系统
4.1 感湿特性测试系统
4.1.1湿度源
4.1.2测试电路
4.1.3测试方法
4.2 老化系统
4.2.1湿度源
4.2.2老化电路
第五章 湿敏材料及元件制备工艺对感湿特性的影响
5.1 苯乙烯—马来酸酐共聚物钠盐(Na-SMA)的湿敏响应特性
5.2 湿敏元件保护层材料的比较
5.2.1保护层对复合元件感湿特性的影响
5.2.2不同保护层材料对元件湿敏响应特性影响的比较
5.3 元件制备溶液配方对湿敏响应特性的影响
5.3.1聚苯乙烯磺酸钠(NaPSS)浓度的影响
5.3.2添加剂B浓度的影响
5.4 浸渍时间的影响
5.4.1制备湿敏膜层的浸渍时间对响应特性的影响
5.4.2制备保护膜层的浸渍时间对响应特性的影响
第六章 湿敏元件构造对感湿特性的影响
6.1 基片材料对元件感湿特性的影响
6.2 叉指电极结构对元件性能的影响
6.2.1电极结构对元件响应特性的影响
6.2.2电极结构对元件老化性能的影响
6.2.3小结
第七章 老化机理研究及老化工艺探索
7.1 老化机理初探
7.1.1实验方法及理论假设
7.1.2老化机理初探
7.1.3小结
7.2 元件的击穿
7.3 老化工艺初探
7.3.1电压
7.3.2湿度
7.3.3时间
7.3.4温度
7.3.5频率
第八章 湿敏元件感湿机理初探
第九章 智能温湿度计的研制
9.1 探头部分
9.1.1湿度传感器
9.1.2温度传感器
9.2 智能温湿度计
9.2.1硬件结构
9.2.2软件部分
结论
参考文献
致谢
