第一章 绪论
1.1 引言
1.2 薄膜材料简介
1.3 研究背景和研究现状
第二章 薄膜制备和实验设备、技术方法介绍
2.1薄膜制备方法
2.2 设备、技术方法和同步辐射介绍
2.3实验方案
2.4 实验测量到的谱图
第三章 不同势垒层Al2O3厚度对Er2O3//Si界面电子结构的研究
3.1 引言
3.2 实验部分
3.3 结果与讨论
3.4 结论
第四章 不同退火温度对Er2O3/Al2O3/Si界面电子结构的影响
4.1 引言
4.2 实验部分
4.3 结果与讨论
4.4 结论
第五章 La2O3/LaAlO3/Si界面电子结构的研究
5.1 引言
5.2 实验部分
5.3 结果与讨论
5.4 结论
第六章 总结与展望
6.1 工作总结
6.2 存在的问题和展望
参考文献
硕士期间发表论文
致谢
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