金属辅助化学刻蚀磁效应作用下硅纳米结构的研究

声明

第1章 绪论

1.1 引言

1.2 金属辅助化学刻蚀制备硅微纳结构的概述

1.3 硅纳米结构的应用

1.4 本文的主要研究内容

第2章 基于MaCE调控硅纳米结构机理

2.1 引言

2.2 金属辅助化学刻蚀法机理

2.3 硅纳米形貌结构调控机理

2.4 硅纳米结构的制备工艺

2.5 本章小结

第3章 实验方案和表征仪器

3.1 引言

3.2 实验方案

3.3 实验设备

3.4 实验流程

3.5 本章小结

第4章 MaCE法磁效应下硅纳米结构的形貌分析

4.1 引言

4.2 Ag沉积时间的影响

4.3 磁效应的影响

4.4 磁场强度的影响

4.5 氧化剂的影响

4.6 本章小结

第5章 磁效应作用下MaCE制备的硅纳米结构减反性研究

5.1 引言

5.2 硅纳米结构的减反理论

5.3 磁效应对MaCE制备出硅纳米结构减反性的影响

5.4 Ag沉积时间对减反性的影响

5.5 氧化剂浓度对减反性的影响

5.6 本章小结

第6章 总结与展望

6.1 总结

6.2 展望

参考文献

致谢

附录