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目录
第一章 引言
1.1研究背景
1.2 OLED产业化的问题
1.3 OLED器件失效机理
1.4国内主要外测量的方法
1.5本论文的研究内容及创新
第二章 质谱法测量柔性OLED衬底材料气体渗透率的相关理论
2.1气体分子与固体表面间的作用力
2.2 气体在固体中的渗透相关理论
2.3 真空技术相关的物理基础
2.4真空系统的抽速和流导
2.5真空系统的抽速确定
2.6 四极质谱仪的原理和特性
2.7 质谱仪中电离计的相对灵敏度
第三章 质谱计数据采集系统的设计
3.1系统设计目的和要求
3.2 四极质谱计数据采集系统软件设计
3.3软件界面及功能介绍
3.4 软件模块分析
第四章 质谱法动态抽除式进样测量气体渗透率的研究
4.1 质谱法测量材料渗透率系统介绍
4.2质谱计的测量灵敏度
4.3 温度对材料气体渗透的影响
4.4 PEN薄膜对氧气、水蒸气气体渗透率的测量
4.5温度对PEN材料气体渗透率的影响
4.6类金刚石薄膜水蒸气渗透率测量
4.7 氧气、水蒸气对云母薄膜气体渗透率的测量
第五章 质谱法静态积累式进样材料气体渗透率测量的研究
5.1质谱法静态积累式进样测量系统的结构及原理
5.2 质谱法静态积累式进样材料气体渗透率测量
5.3 水蒸气、氧气对云母薄膜气体渗透率的测量
5.3 云母薄膜气体渗透率测量分析
5.4 高真空环境下OLED寿命测试
5.5 质谱法静态积累式进样测量系统的特点及改进方法
第六章 总结与展望
6.1研究成果及创新工作总结
6.2 存在问题
6.3 工作展望
致谢
参考文献
攻硕期间取得的研究成果
