紧凑型准分子激光高精度微加工系统设计

声明

摘要

1．1课题研究背景

1．2课题研究目的和意义

1．3课题国内外的研究现状

1．4准分子激光微加工的应用

1．4．1在半导体领域的应用

1．4．2在微光学元件材料领域的应用

1．4．3在聚合物材料领域的应用

1．5论文研究内容与创新点

第2章准分子激光及微加工的机理

2．1准分子激光的原理和光束特性

2．2准分子激光技术的发展

2．3准分子激光与材料相互作用的机理

2．4本章小结

第3章基于准分子激光微加工的系统设计

3．1系统装置

3．2紧凑型激光光源

3．3深紫外激光光路传输系统

3．3．1可调光阑

3．3．2扫描振镜

3．3．3聚焦透镜

3．4上位机和加工图案

3．4．1数据通信的实现

3．4．2上位机软件的设计

3．4．3加工图案

3．4．4激光光源和扫描振镜的同步控制

3．5本章小结

第4章准分子激光微加工系统的实验探究

4．1引言

4．2实验材料

4．3实验所需设备

4．4实验结果及分析

4．4．1不同微加工形貌的性能测试

4．4．2不同光路参数的性能测试

4．4．3不同激光参数的性能测试

4．5本章小结

第5章总结与展望

5．1论文总结

5．2工作展望

参考文献

致谢

在读期间发表的学术论文与取得的其他研究成果