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图清单
表目录
1 绪论
1.1 研究背景及意义
1.2 图像畸变类型与原因
1.3 图像畸变校正技术
1.4 图像识别技术
1.5 本文的研究内容及组织结构
2 人工神经网络
2.1 本章引言
2.2 人工神经网络的概念
2.3 神经网络的结构和工作原理
2.4 神经网络的发展和应用
3 基于神经网络的非线性畸变图像校正技术
3.1 本章引言
3.2 神经网络样本点的提取
3.3 L-M算法的基本原理
3.4 用于图像校正的神经网络结构
3.5 实验结果及分析
3.6 本章小结
4 基于神经网络的图像识别技术
4.1 本章引言
4.2 图像识别的基本原理
4.3 用于图像识别的BP神经网络
4.4 图像识别程序设计
4.5 实验结果及和分析
4.6 本章小结
5 神经网络在光刻对准系统中的应用
5.1 本章引言
5.2 对准原理及对准过程
5.3 对准标记变形的原因
5.4 基于神经网络的变形解决方案
5.5 本章小结
6 总结及展望
6.1 工作总结
6.2 展望
附录A
附录B
参考文献
作者简历
中国计量学院;