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基于神经网络的非线性畸变图像的校正和识别技术的研究

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图清单

表目录

1 绪论

1.1 研究背景及意义

1.2 图像畸变类型与原因

1.3 图像畸变校正技术

1.4 图像识别技术

1.5 本文的研究内容及组织结构

2 人工神经网络

2.1 本章引言

2.2 人工神经网络的概念

2.3 神经网络的结构和工作原理

2.4 神经网络的发展和应用

3 基于神经网络的非线性畸变图像校正技术

3.1 本章引言

3.2 神经网络样本点的提取

3.3 L-M算法的基本原理

3.4 用于图像校正的神经网络结构

3.5 实验结果及分析

3.6 本章小结

4 基于神经网络的图像识别技术

4.1 本章引言

4.2 图像识别的基本原理

4.3 用于图像识别的BP神经网络

4.4 图像识别程序设计

4.5 实验结果及和分析

4.6 本章小结

5 神经网络在光刻对准系统中的应用

5.1 本章引言

5.2 对准原理及对准过程

5.3 对准标记变形的原因

5.4 基于神经网络的变形解决方案

5.5 本章小结

6 总结及展望

6.1 工作总结

6.2 展望

附录A

附录B

参考文献

作者简历

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摘要

本论文分析了人工神经网络的基本原理,重点研究其在非线性畸变图像的校正和图像识别两个方面的应用。在非线性畸变图像校正方面,研究一种基于Levenberg—Marquardt算法的BP神经网络模型实现非线性畸变图像的校正;图像识别部分建立引入动量项学习算法的神经网络实现对常用的十个阿拉伯数字图像的识别。对于畸变较大、难以识别的图像提出一种混合编程的级联的神经网络技术,通过第一级神经网络完成对畸变图像的校正,然后借助第二级神经网络完成图像的识别。主要研究内容如下:
  一、研究一种基于Levenberg—Marquardt算法的BP神经网络模型,针对非线性畸变图像通过提取特征像素点,训练神经网络模型后实现对畸变图像的校正效果。实验结果表明,网络模型对畸变图像的校正效果较为理想,校正后的图像误差在0.8个像素坐标值以内。
  二、基于VC开发环境绘制带识别的标准图像和噪声图像,然后借助神经网络实现对数字字符的识别。对于畸变严重难以识别的图像,提出一种级联的神经网络模型。前一级网络利用 MATLAB神经网络工具箱,构建一种基于Levenberg-Marquardt算法的BP神经网络模型,后一级基于VC开发环境建立引入动量项学习算法的神经网络。前一级神经网络实现图像校正功能,输出的校正后图像作为后一级神经网络的输入,从而完成对此类图像的准确识别,大大提高了整个图像识别系统的识别正确率。实验结果表明,训练后的级联神经网络对于畸变率为20%以内的数字图像的识别率达100%。
  三、提出光刻对准系统中引入神经网络,通过神经网络优化对准标记图形来提高光刻对准精度的方案,并通过自行设计的“十字”对准标记图形,利用神经网络实现对畸变的对准标记图形的校正实验验证了理论上的可行性。

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