纳米尺度X射线衍射光学元器件的研究

代理获取

页面导航

摘要
著录项
相似文献
相关主题

摘要

X射线是自从1895年被伦琴发现以来，就逐渐受到全球科学家们的重视，现在已经发展成为科学研究中一种必不可少的研究工具，在能源、医药、航天航空、环境等领域有着广泛的应用。而在航天航空领域如何实现X射线的探测和分析已经逐渐成为一个热点问题，而作为X射线光谱仪的核心元器件的X射线衍射光学元器件逐渐成为纳米加工领域的核心。X射线衍射光学元器件在激光惯性约束聚变，天文望远镜，同步辐射，EUV光刻等领域有着广泛应用。而如何实现高分辨率、大高宽比的X射线衍射光学元器件为纳米尺度加工工艺提出了很大的技术挑战!
　　我们就是针对国内在同步辐射、空间探测等领域对X射线衍射光学元器件的需求的基础上，尝试研制一种自支撑X射线单极衍射光栅。本文主要研究了X射线衍射光学元器件中的一种自支撑X射线单极衍射光栅的制作工艺以及遇到的技术难题和解决方法。
　　本文的主要内容包括：
　　首先介绍了X射线的背景、特性以及应用，在此基础上介绍了X射线衍射光学元器件的分类并详细介绍了X射线衍射光栅的器件结构和性能，对应于普通的X射线衍射光栅，我们提出了一种自支撑X射线衍射光栅的器件结构以及解决的问题。
　　其次详细介绍了一种自支撑X射线单极衍射光栅的来源背景，并详细分析了纳米加工需要面对的技术挑战，在介绍了目前纳米尺度加工的技术之后，我们详细介绍了一种混合电子束光刻、X射线光刻、紫外光刻以及微电镀工艺的制作工艺，并得出了成功的结果。
　　最后重点研究了自支撑X射线单极衍射光栅制作过程中的工艺流程中的技术挑战和解决方法：电子束光刻的介绍和剂量选择问题；X射线光刻技术介绍和如何实现无差别的掩模复制；利用紫外光刻制作镂空结构；微电镀工艺进行图形转移中遇到的问题和解决方法；分析了刻蚀工艺、电子束蒸发工艺、体硅腐蚀工艺中需要注意的问题。

著录项

作者
方磊;
展开▼
作者单位

安徽大学;

展开▼
授予单位安徽大学;
学科微电子学与困体电子学
授予学位硕士
导师姓名代月花,谢常青;
年度 2012
页码
总页数
原文格式 PDF
正文语种中文
中图分类光刻、掩膜;与物质的相互作用;
关键词
纳米尺度; 自支撑X射线衍射光学元器件; 单极衍射光栅; 电子束光刻; X射线光刻; 器件结构;

相似文献

中文文献
外文文献
专利

1. X射线衍射-红外光谱-扫描电镜表征超声辅助合成GdPO4∶Ce,Tb纳米材料形貌及光学性质 [J] . 范瑶瑶 ,胡宗超 ,郝宏艳 . 岩矿测试 . 2016,第002期
2. X射线衍射-红外光谱-扫描电镜表征超声辅助合成GdPO4：Ce：Tb纳米材料形貌及光学性质 [J] . 南雪娇 ,余晓平 ,郭金玲 . 岩矿测试 . 2016,第1期
3. 纳米尺度HfO2薄膜不同厚度对光学性质的影响 [J] . 张寅辉 ,任玲玲 ,高慧芳 . 发光学报 . 2018,第003期
4. 纳米结构金属的空位变形机制 --冷轧纳米结构金属镍和钴X射线衍射研究 [J] . 张喜燕 ,周世杰 ,贾冲 . 重庆理工大学学报（自然科学版） . 2005,第003期
5. A—SiNx:H/A—Si:H超晶格材料制备X射线衍射及光学性质的研究 [J] . 黄文勇 . 韩山师范学院学报 . 1994,第003期
6. 光纤陀螺仪及光学元器件寿命评估方法研究 [C] . . 2006中国科协年会 . 2006
7. 在纳米光学元器件中三维边界元方法的研究 [A] . 常富坤 . 2008

纳米尺度X射线衍射光学元器件的研究

摘要

著录项

相似文献

相关主题

期刊订阅