声明
符号说明
第一章 绪 论
1.1课题背景
1.2目前真空系统的分类及流导计算
1.3 热流逸式真空泵及流导的研究现状
1.3.1热流逸式真空泵的原理
1.3.2热流逸式真空泵的研究现状
1.3.3流导的研究现状
1.4真空预冷的研究现状
1.5 本文的研究内容
第二章 不同形状截面微通道的流导特性分析
2.1 长微通道
2.1.1自由分子流区域
2.1.2过渡流区域
2.2 短微通道
2.3 热流逸效应下微通道的流导特性分析
2.3.1 努森数对流导的影响
2.3.2 温差对流导的影响
2.3.3 微通道特征尺寸对流导的影响
2.3.4 短微通道长度对流导的影响
2.4本章小结
第三章 微通道流导的蒙特卡洛模拟
3.1矩形微通道流导的影响因素
3.1.1矩形微通道流导的非几何因素
3.1.2矩形微通道流导的几何因素
3.2微通道流导的蒙特卡洛模拟流程
3.3微通道的流导结果分析
3.3.1 矩形微通道流导结果分析
3.3.2 不同截面形状微通道流导的对比分析
3.4模拟结果与计算结果对比分析
3.5 本章小结
第四章 热流逸式真空泵的流导特性分析
4.1 单级努森真空泵的流导计算
4.1.1 单级努森真空泵的物理模型
4.1.2单级努森泵真空泵流导计算的数学模型
4.2 多级努森真空泵的流导计算
4.2.1 多级串联努森真空泵的物理模型
4.2.2多级串联努森真空泵总流导的数学模型
4.3 热流逸式真空泵的流导结果分析
4.3.1 单级热流逸式真空泵分析
4.3.2 多级热流逸努森真空泵分析
4.4本章小结
第五章 热流逸式真空泵的应用与计算
5.1 基于热流逸效应的真空预冷机模型构建
5.1.1 真空预冷简述
5.1.2 基于热流逸效应的真空预冷机
5.1.3 热流逸式真空预冷机的工作流程
5.2热流逸式真空预冷机的数学模型
5.2.1预冷箱内产品的水分迁移量计算
5.2.2热流逸式真空预冷机的效率与能耗
5.2.3预冷箱内最低压力的计算
5.3 热流逸式真空预冷机的能效与成本分析
5.3.1热流逸式真空预冷机耗热及热效率分析
5.3.2预冷箱内压力与产品水分含量分析
5.3.3预冷箱内最低压力分析
5.3.4节约成本分析
5.4 本章小结
第六章 结论与展望
6.1 结论
6.2 展望
参考文献
致谢
攻读学位期间发表论文和专利情况
广西大学;
