加工工艺及氧含量对石墨烯用压延铜箔的影响

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摘要

Abstract

图和附表清单

1 绪论

1.1 引言

1.2 铜箔基底制备石墨烯

1.2.1 石墨烯的发展及应用

1.2.2 石墨烯的制备方法

1.2.3 铜基底CVD法制备石墨烯

1.3 压延铜箔对制备石墨烯的影响

1.3.1 压延铜箔表面粗糙度的影响

1.3.2 压延铜箔变形率的影响

1.3.3 压延铜箔氧含量的影响

1.3.4 压延铜箔退火处理的影响

1.4 制备石墨烯用压延铜箔的质量要求

1.5 研究内容、目的及意义

1.5.1 研究内容

1.5.2 目的及意义

1.6 技术路线

2 实验分析方法

2.1 铜箔的轧制

2.1.1 轧机选型

2.1.2 铜箔厚度控制及测量

2.1.3 成分分析

2.2 热处理工艺

2.2.1 预退火处理

2.2.2 高温退火处理

2.3 显微组织观察与分析

2.3.1 金相试样制备

2.3.2 光学显微镜观察与分析

2.3.3 扫描电子显微镜观察及能谱分析

2.4 力学性能测试

2.4.1 拉伸性能测试

2.4.2 硬度测试

2.5 表面粗糙度测定

3 热处理工艺对石墨烯用压延铜箔的影响

3.1 预退火处理温度对石墨烯用压延铜箔表面质量的影响

3.2 预退火处理温度对压延铜箔组织及性能的影响

3.2.1 预退火处理温度对压延铜箔组织的影响

3.2.2 预退火处理温度对压延铜箔力学性能的影响

3.3 预退火处理温度对压延铜箔高温退火表面形貌的影响

3.4 高温退火工艺对压延铜箔表面形貌的影响

3.4.1 高温退火温度对压延铜箔表面形貌的影响

3.4.2 高温退火保温时间对压延铜箔表面形貌的影响

3.5 本章小结

4 氧含量对石墨烯用压延铜箔的影响

4.1 氧含量对石墨烯用压延铜箔表面质量的影响

4.1.1 第二相颗粒对压延铜箔表面形貌的影响

4.1.2 氧含量对压延铜箔中含氧第二相颗粒的影响

4.1.3 氧含量对压延铜箔表面粗糙度的影响

4.2 氧含量对石墨烯用压延铜箔再结晶温度的影响

4.2.1 氧含量对压延铜箔再结晶温度的影响

4.2.2 含氧第二相对压延铜箔再结晶行为的影响机理

4.3 氧含量对压延铜箔预退火处理后组织及性能的影响

4.3.1 氧含量对压延铜箔预退火处理后组织的影响

4.3.2 氧含量对预退火处理后力学性能的影响

4.4 氧含量对压延铜箔高温退火表面形貌的影响

4.5 本章小结

5 变形率对石墨烯用压延铜箔的影响

5.1 变形率对石墨烯用压延铜箔表面质量的影响

5.2 变形率对石墨烯用压延铜箔再结晶温度的影响

5.3 变形率对压延铜箔预退火处理后组织及性能的影响

5.3.1 变形率对压延铜箔预退火处理后组织的影响

5.3.2 变形率对压延铜箔预退火处理后力学性能的影响

5.4 变形率对压延铜箔高温退火表面形貌的影响

5.5 本章小结

6 结论及展望

6.1 主要结论

6.2 展望

参考文献

个人简历、在学期间发表的学术论文与研究成果

致谢