法布里--珀罗可调谐滤波器的设计与实验验证研究

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第一章 绪论

1.1 引言

1.2 光学可调谐FPTF工作原理

1.2.1 多光束干涉原理

1.2.2 光学薄膜相关性能

1.3 光学可调谐FPTF的分类

1.4 FPTF的研究进展

1.4.1 光通信用FPTF

1.4.2 高光谱成像用FPTF

1.4.3 气体传感用FPTF

1.5 FPTF研究中的关键问题

1.6 本文的主要内容

第二章 FPTF的悬臂梁结构设计及其对反射镜面调控的研究

2.1 引言

2.2 有限元分析理论基础

2.3 结构设计模型及参数

2.4 材料性能对双折叠臂梁性能的影响

2.5 悬臂梁结构对支撑的可移动反射镜的影响

2.5.1 电压-位移关系

2.5.2 应力分布

2.5.3 反射镜镜面平整度分析

2.6 本章小结

第三章 FPTF的光学薄膜结构设计和性能研究

3.1 引言

3.2 材料的选择

3.2.1 基底材料

3.2.2 光学薄膜材料

3.3 高反射薄膜结构设计

3.3.1 光学薄膜材料的影响

3.3.2 周期性重复次数的影响

3.3.3 入射角的影响

3.4 减反射薄膜的设计与性能研究

3.5 FTPF整体薄膜结构的设计及性能研究

3.6 本章小结

第四章 FPTF调谐性能研究及光学膜系的制备

4.1 引言

4.2 FPTF的调谐性能

4.2.1 特性参数

4.2.2 调谐性能

4.3 FPTF光学薄膜的制备

4.3.1 真空镀膜技术及设备

4.3.2 制备工艺参数

4.3.3 结果分析

4.4 本章小结

第五章 结论与展望

5.1 结论

5.2 展望

参考文献

致谢

攻读硕士期间发表的论文