声明
1 绪论
1.1 PZT材料概述
1.2 PZT薄膜的研究现状
1.3 PZT薄膜的应用
1.4 论文的研究意义与内容
2 PZT薄膜的制备及性能表征方法
2.1 衬底的选择与制备
2.2 PZT薄膜的制备过程
2.3 PZT薄膜上电极的制备
2.4 PZT薄膜的性能表征方法
2.5 本章小结
3 掺杂PZT薄膜的制备和性能表征
3.1 PZT薄膜掺杂改性概述
3.2 PPZT薄膜的制备和性能表征
3.3 掺杂改性机理分析
3.4 本章小结
4 底电极和PZT薄膜的图形化研究
4.1 底电极的湿法腐蚀工艺
4.2 PZT薄膜的湿法腐蚀工艺
4.3 本章小结
5 压电微执行器的制作及其振动性能测试
5.1 压电微执行器的制作
5.2 压电微执行器的振动性能测试
5.3 本章小结
结论
参考文献
攻读硕士学位期间发表学术论文情况
致谢
大连理工大学;
