大功率LED散热用氮化铝陶瓷基板金属的制备与性能研究

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摘要

第1章绪论

1．1引言

1．2几种不同的陶瓷基板材料

1．2．1 Al2O3陶瓷基板

1．2．2 SiC陶瓷基板

1．2．3 BeO陶瓷基板

1．2．4 Si3N4陶瓷基板

1．2．5 AlN陶瓷

1．3 AlN陶瓷特性

1．3．1 AlN晶体结构

1．3．2氮化铝的导热机理

1．4 AlN陶瓷金属化

1．4．1 AlN陶瓷的金属化方法

1．5激光扫描AlN陶瓷金属化

1．5．1激光特性

1．5．2材料对激光的反射和吸收

1．5．3材料与激光的相互作用

1．5．4激光加热法AlN陶瓷表面金属化

1．6金属与陶瓷连接的理论要求

1．6．1物理相容性

1．6．2化学相容性

1．6．3金属与陶瓷界面结合方式

1．7研究意义及内容

第2章制备方法与测试

2．1实验原料及设备

2．2实验过程

2．2．1金属化实验步骤

2．2．2实验流程图

2．3实验研究内容

2．4性能表征

第3章表面研究结果与分析

3．1 AlN陶瓷表面金属化表面形貌

3．2陶瓷表面处理对组织影响

3．3激光扫描次数不同对表面形貌影响

3．4扫描速度不同对表面形貌影响

3．5添加金属钨克数不同对表面形貌影响

3．6添加金属钨粒度不同对表面组织影响

3．7本章小结

第4章界面研究结果及其它性能分析

4．1．1界面点扫描

4．1．2界面线扫描

4．1．3界面面扫描

4．1．4扫描次数对界面形貌影响

4．2物相分析

4．2．1激光扫描次数对纯氮化铝陶瓷基板物相影响

4．2．2激光扫描次数对金属化后基板物相影响

4．2．3氮化铝基板金属化后表面处理物相分析

4．3 AlN陶瓷表面金属化热导率及剪切强度

4．4本章小结

第5章结论

参考文献

致谢

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