单晶炉磁场对晶体生长影响的研究

声明

前言

主要符合表

1绪论

1.1.1直拉法硅单晶的现状与趋势

1.1.2直拉法硅单晶的存在的问题

1.2直拉法磁场的研究意义

1.3.1直拉法磁场分类

1.3.2直拉法磁场的现状

1.3.3直拉法磁场存在的问题

1.4研究内容

2坩埚内熔体对流及其磁场抑制的理论研究

2.1.1坩埚内熔体对流的研究

2.1.2坩埚内熔体对流的模拟分析

2.2.1磁场抑制熔体对流的基本原理

2.2.2勾形磁场抑制熔体对流的机理研究

2.3磁场下等效微重力环境的理论研究

2.3.1等效微重力加速度与等效粘滞系数的研究

2.3.2等效微重力加速度与磁场强度的研究

2.3.3等效微重力环境下磁场参数的分析与确定

2.4本章小结

3单晶炉磁场的设计与实验验证

3.1横向磁场的设计

3.1.1横向磁场结构及其工作原理

3.1.2横向磁场的设计

3.2横向磁场参数的实验验证

3.2.1横向磁场装置的实现

3.2.2横向磁场的实验验证

3.3勾形磁场的设计

3.3.1勾形磁场的结构及其工作原理

3.3.2勾形磁场的设计

3.4.1.勾形磁场装置的实现

3.4.2勾形磁场的实验验证

3.5本章小结

4 新型低功耗勾形磁场的研究

4.1.1新磁屏蔽体结构的研究

4.1.2新磁屏蔽体磁场的特性研究

4.1.3 新磁屏蔽体结构的研究与设计

4.2新型低功耗勾形磁场的研究

4.2.1降低磁场功耗方法的研究

4.2.2 新型低功耗勾形磁场的特性研究

4.2.3新型低功耗磁场结构设计

4.3本章小结

5磁场的晶体生长实验验证

5.1.1晶体氧含量测试原理与方法

5.1.2晶体氧含量测试仪器与过程

5.2.1实验方案

5.2.2实验结果与分析

5.3勾形磁场晶体生长的实验验证

5.3.1实验方案

5.3.2实验结果与分析

5.4本章小结

6结论

致谢

参考文献

攻读博士学位期间发表的论文