声明
第一章 绪论
1.1课题的研究背景
1.2国内外研究现状
1.3 论文的主要内容
1.4 论文的组织结构
第二章 “面向重入族”的δ→β类型中批加工设备β的批排序调度
2.1 引言
2.2 半导体晶圆制造中批加工设备调度问题分解
2.3 时间点交货期下δ→β类型中批加工设备β的批排序调度
2.4 时间窗交货期下δ→β类型中批加工设备β的批排序调度
2.5 实验与分析
2.6 本章小结
第三章 β1→β2类型中批加工设备β2的重组批和批排序调度
3.1 引言
3.2β1→β2类型中批加工设备β2的重组批和批排序调度
3.3 实验与分析
3.4 本章小结
第四章 “面向重入族”的平行批加工设备的批派工调度
4.1 引言
4.2 “面向重入族”的平行批加工设备的批派工调度
4.3 实验与分析
4.4 本章小结
第五章 总结与展望
5.1主要工作及成果
5.2 创新性
5.3 研究展望
参考文献
致谢
作者攻读博士学位期间学术论文和科研成果
上海交通大学;