制备Co-Re合金涂层的化学气相沉积设备研制与涂层表征

声明

第一章 绪论

1.1 课题研究背景及研究现状

1.1.1 研究背景

1.1.2 研究现状

1.2 Co-Re合金的抗氧化性

1.3 Co涂层的制备工艺

1.3.1 化学镀(Electroless plating)

1.3.2 激光熔覆技术(Laser Cladding)

1.3.3 电沉积(Electrodeposition)

1.3.4 化学气相沉积(CVD)

1.3.5 Co涂层制备工艺的比较

1.4 Re涂层的制备工艺

1.4.1 电子束-物理气相沉积(EB-PVD)

1.4.2 熔盐电沉积(ED)

1.4.3 化学气相沉积(CVD)

1.4.4 Re涂层制备工艺比较

1.5 课题研究的目的、主要内容及创新点

1.5.1 课题研究目的

1.5.2 课题研究主要内容

1.5.3 课题研究创新点

第二章 实验研究方法

2.1 实验原料

2.2 实验设备

2.3 实验方法

2.4 分析测试

2.4.1 显微组织分析

2.4.2 XRD图谱分析

2.4.3 涂层成分分析

第三章 化学气相沉积设备的设计与制作

3.1 化学气相沉积设备的总体设计

3.2 化学气相沉积设备机械系统设计

3.3 化学气相沉积设备控制系统设计

3.3.1 温度控制

3.3.2 流量与压力控制

3.3.3 安全控制

3.4 升华室、反应室尺寸设计

3.5 化学气相沉积设备的实现

3.6 本章小结

第四章 化学气相沉积制备Co-Re合金涂层的热力学分析

4.1 化学气相沉积反应的热力学分析

4.1.1 化学气相沉积制备Co涂层的热力学分析

4.1.2 化学气相沉积制备Re涂层的热力学分析

4.2 平衡反应产物的热力学分析

4.2.1 H2-Co(acac)2系统平衡反应产物热力学分析

4.2.2 H2-Re2(CO)10系统平衡反应产物热力学分析

4.3 Co、Re共沉积

4.4 本章小结

第五章 化学气相沉积Co-Re合金涂层的实验结果与分析

5.1 化学气相沉积Co-Re合金的工艺参数分析

5.2 氢气流量对Co-Re合金表面形貌的影响

5.3 化学气相沉积Co-Re合金的微观形貌分析

5.4 化学气相沉积Co-Re合金的成分分析

5.5 化学气相沉积Co-Re合金的XRD图谱分析

5.6 本章小结

第六章 结论

致谢

参考文献

攻读硕士学位期间的研究成果