脉冲激光沉积类金刚石薄膜过程中工艺参数对薄膜质量影响的研究

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致谢

第一章绪论

1.1类金刚石薄膜

1.1.1类金刚石薄膜的概念

1.1.2类金刚石薄膜的分类

1.1.3类金刚石薄膜的性能

1.1.4类金刚石薄膜的应用

1.1.5类金刚石薄膜存在的问题

1.2脉冲激光沉积法

1.2.1脉冲激光沉积原理

1.2.2脉冲激光沉积法的特点

1.2.3脉冲激光沉积设备

1.3脉冲激光沉积类金刚石薄膜的研究

1.4课题研究的目的与意义

1.4.1课题研究的背景

1.4.2课题研究的总目标

1.4.3课题研究的主要内容

第二章类金刚石薄膜的表征方法

2.1 Raman光谱检测

2.1.1 Raman效应原理

2.1.2仪器介绍

2.1.3 Raman光谱分析类金刚石薄膜方法

2.2原子力显微镜

2.2.1原子力显微镜原理

2.2.2仪器介绍

2.3 X射线光电子能谱

2.3.1 X射线光电子能谱原理

2.3.2仪器介绍

2.3.3 X射线光电子能谱表征类金刚石薄膜的方法

2.4红外光谱

2.4.1红外光谱应用原理

2.4.2仪器介绍

第三章时间和距离对脉冲激光沉积类金刚石薄膜的影响

3.1引言

3.2实验内容与方法

3.3实验结果与分析

3.4结论

第四章氮气氛对脉冲激光沉积类金刚石薄膜的影响

4.1引言

4.2预实验

4.2.1实验内容

4.2.2实验结果与分析

4.3不同氮气压强下实验

4.3.1实验内容

4.3.2 XPS检测结果与理论分析

4.3.3 Raman光谱检测结果与理论分析

4.3.4原子力显微镜的检测结果与理论分析

4.2.5红外测试结果与理论分析

4.4结论

第五章激光能量对脉冲激光沉积类金刚石薄膜的影响

5.1引言

5.2实验内容

5.3实验结果与分析

5.3.1 XPS测试结果与理论分析

5.3.2 Raman光谱的检测结果与理论分析

5.3.3 AFM检测结果与理论分析

5.3.4红外透过谱测试结果与理论分析

5.4结论

第六章在机械瓣膜上沉积的类金刚石薄膜和细胞相容性

6.1引言

6.2实验内容与方法

6.3实验结果与分析

6.4结论

第七章总结与展望

7.1本文的主要工作和主要结论

7.2主要创新点

7.3今后的研究工作

7.4展望

参考文献

附录　攻读硕士期间发表的论文