液态金属柔性应变传感器及扩大应变传感范围的技术研究

目 录

1 绪论

1.1 应变及其传感测量技术

1.1.1 应变的基本概念

1.1.2 应变测量方法与技术

1.2 柔性传感器测量技术

1.2.1 信号转换机制

1.2.2 柔性电子元器件基底材料

1.2.3 液态金属填注技术

1.3 大应变及其传感测量技术

1.3.1 大应变定义及大应变测量方法

1.3.2 可延展柔性电子技术的发展现状

1.4 本文的主要研究内容和意义

1.5 本章小结

2 液态金属柔性应变传感器制备工艺

2.1 材料性能

2.1.1 PDMS 基本性质与制备

2.1.2 镓铟合金 EGaIn基本性质

2.2 液态金属柔性应变传感器的制备

2.2.1 芯片图形的计算机辅助设计

2.2.2 微流控芯片制备

2.3 本章小结

3 液态金属柔性应变传感测量的设计和分析

3.1 液态金属柔性应变传感测量的要求和途径

3.1.1 液态金属柔性应变传感测量的特点、要求

3.1.2 液态金属柔性传感器大应变测量的实现途径

3.1.3 传感结构的设计参数、特性参数和评价指标

3.2 单层结构形式的应变传感结构

3.2.1 单层结构设计

3.2.2 结构特点分析

3.3 双层结构形式的应变传感结构

3.3.1 双层结构设计

3.3.2 结构特点分析

3.4 本章小结

4 柔性大应变传感器的实验研究和数据分析

4.1 应变传感器的传感特性试验研究

4.1.1 试验概况及试验准备

4.1.2 标定实验

4.1.3 重复性实验

4.1.4 迟滞性实验

4.1.5 温度影响实验

4.1.6 误差分析

4.2 实验数据回归分析

4.2.1 回归函数模型

4.2.2 回归方程检验

4.3 柔性应变传感器传感特性分析与评价

4.3.1 线性度和灵敏度

4.3.2 迟滞性和重复性

4.3.3 温度对传感芯片影响

4.3.4 影响传感器传感特性的设计因素讨论

4.4 本章小结

5 全文总结与展望

5.1 本文主要工作及结论

5.2 论文创新点

5.3 展望

参 考 文 献

附 录

A. 学位论文数据集

致 谢