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张仲恺;
中国科学技术大学;
电感耦合等离子体; 模式转变; 微波等离子体源;
机译:在电感耦合等离子体源中利用平板天线的电流和电压现场监测氩等离子体密度变化的方法
机译:用干涉仪和光发射光谱研究电感耦合氩-汞混合物放电中的模式转变
机译:电感耦合等离子体E-H模式转变中边缘至中心密度比的实验研究
机译:具有氩/氧气混合物蚀刻电感耦合等离子体源的建模
机译:溶液雾化设备(超声波雾化器)用于电感耦合等离子体光谱法,备用等离子体源(低压电感耦合等离子体)用于质谱法。
机译:气态电子会议射频参考电池的电感耦合等离子体源
机译:大气压氩RF阻挡放电等离子体源的理论和实验研究
机译:电感耦合等离子体源质谱仪在峰值跳跃模式下的操作
机译:使用相同的电感耦合等离子体源和电感耦合等离子体处理装置
机译:单匝和层压壁电感耦合等离子体源
机译:单圈和堆叠壁电感耦合等离子体源
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