脉冲激光烧蚀量对激光诱导击穿光谱信号重复性的影响研究

声明

摘要

第1章绪论

1．1课题背景与研究的目的和意义

1．2激光诱导击穿光谱重复性研究现状

1．3脉冲激光烧蚀量测量方法研究现状

1．4本文的主要研究内容

1．5论文主要工作与组织结构

第2章理论基础和实验系统搭建

2．1LIBS理论基础

2．1．1LIBS原理

2．1．2微区成像

2．2显徽3D测量LIBS分析系统

2．2．1系统框架设计

2．2．2硬件结构实现

2．2．3软件功能实现

2．2．4系统测试

2．3本章小结

第3章脉冲激光烧蚀量测量方法研究

3．1超景深变焦显微3D测量方法

3．1．1超景深变焦显微3D测量方法原理

3．1．2超景深变焦显微3D测量实现与优化

3．2脉冲激光烧蚀量测量实验

3．2．1烧蚀坑的超景深显微3D重建测量

3．2．2超景深变焦显微3D重建测量精度

3．2．3重复性试验及误差分析

3．3本章小结

第4章脉冲激光烧蚀量对LIBS信号重复性的影响

4．1LIBS信号重复性问题

4．2LIBS信号重复性实验

4．2．1实验过程

4．2．2光谱数据预处理

4．3脉冲激光烧蚀量对LIBS信号重复性的影响

4．3．1LIBS信号重复性分析

4．3．2脉冲激光烧蚀量与光谱信号之间的关系研究

4．3．3提高LIBS信号重复性的方法

4．4本章小结

第5章结论与展望

5．1结论

5．2展望

参考文献

致谢

攻读学位期间发表的学术成果和参加的科研项目

学位论文评阅及答辩情况表