声明
第1 章 绪论
1.1 超晶格结构简介
1.2 n 型 InMO3(ZnO)n(M=Ga,Al)超晶格纳米材料
1.2.1 InMO3(ZnO)n超晶格材料的晶体结构
1.2.2 InMO3(ZnO)n超晶格纳米结构的研究现状
1.3 n 型半导体纳米材料的气敏性能
1.4 p 型 Sb 掺杂 ZnO纳米材料
1.4.1 p 型掺杂 ZnO材料
1.4.2 Sb 掺杂 ZnO纳米结构的研究现状
1.5 选题意义和研究内容
第2 章材料制备表征及相关测试方法
2.1 纳米颗粒的制备
2.1.1 沉淀法
2.1.2 溶胶凝胶法
2.1.3 水热/溶剂热法
2.1.4 In-Ga(Al)-Zn-O/Zn-Sb-O超晶格纳米颗粒制备
2.2 纳米颗粒的表征手段
2.2.1 X射线衍射
2.2.2 透射电子显微镜
2.2.3 紫外可见漫反射光谱
2.2.4 傅里叶变换红外光谱
2.2.5 拉曼光谱
2.2.6 X射线光电子能谱
2.3 气敏性能测试
2.3.1 传感器的设计
2.3.2 气敏测试步骤和流程
2.3.3 气敏测试相关指标
2.4 p 型导电测试
2.4.1 器件的设计
2.4.2 p 型导电测试步骤和流程
第3 章 In-Ga-Zn-O 超晶格纳米颗粒的可控合成与气敏性能研究
3.1 前驱体浓度的筛选
3.2 退火时间的确定
3.3 n 值的可控合成
3.3.1 XRD结果及分析
3.3.2 TEM结果及分析
3.3.3 UV-Vis DRS结果及分析
3.4 气敏测试
3.4.1 气敏选择性和最佳工作温度的确定
3.4.2 最佳工作温度下传感器对 H2S的气敏特性
3.4.3 气敏机理
3.5 本章小结
第4 章 In-Al-Zn-O 超晶格纳米颗粒的可控合成与气敏性能研究
4.1 筛选前驱体浓度
4.2 确定退火时间
4.3 n 值的可控合成
4.3.1 XRD结果及分析
4.3.2 TEM结果及分析
4.3.3 FTIR结果及分析
4.4 气敏测试
4.4.1 气敏选择性和最佳工作温度的确定
4.4.2 最佳工作温度下传感器对 H2S的气敏特性
4.5 本章小结
第5 章 Zn-Sb-O 超晶格纳米颗粒的合成与p型导电研究
5.1 XRD结果及分析
5.2 TEM结果及分析
5.3 XPS 结果及分析
5.4 FTIR及 Raman 结果及分析
5.5 p 型导电结果及分析
5.6 本章小结
结论与展望
全文总结
展望
致谢
参考文献
攻读硕士学位期间发表的论文及科研成果
西南交通大学;