基于电弧放电方式大气等离子体抛光技术研究

摘要

1．1课题来源及意义

1．1．1课题来源

1．1．2课题研究的背景及意义

1．2国内外研究现状

1．2．1超光滑表面加工

1．2．2大气等离子体加工技术的国内外研究现状

1．3研究技术路线及主要研究内容

1．3．1研究技术路线

1．3．2主要研究内容

1．4本章小结

2实验检测装置及电弧放电大气等离子体两种不同工作方式

2．1实验平台及检测装置

2．1．1实验平台结构

2．1．2熔石英表面质量评价及检测设备介绍

2．2电弧放电方式大气等离子体两种不同工作方式

2．2．1大气等离子体火抛加工方式

2．2．2大气等离子体反应抛光方式

2．3等离子体诊断

2．3．1发射光谱法

2．3．2不同反应气体反应去除速率对比

2．4本章小结

3大气等离子体火抛过程中熔石英温度场仿真

3．1大气等离子体作用下工件温度场建模

3．1．1熔石英温度场数值模拟分析

3．1．2有限元分析

3．2定点抛光实验

3．2．1放电功率对样片温度分布的影响

3．2．2等离子体喷嘴半径对样片温度分布的影响

3．3扫描抛光实验

3．3．1等离子体功率对样片温度分布的影响

3．3．2等离子体射流移动速度对样片温度分布的影响

3．3．3等离子体喷嘴半径对样片温度分布的影响

3．3．4对仿真模型的实验验证

3．4本章小结

4大气等离子体化学反应抛光工艺研究

4．1工艺因素影响实验

4．1．1气体分配输入方式对去除速率的影响

4．1．2放电功率对去除速率的影响

4．1．3反应气体流量对去除速率的影响

4．2高确定性稳定等离子体射流控制技术研究

4．2．1短时可重复性实验

4．2．2小扰动鲁棒性

4．3本章小结

5化学反应抛光后表面附着物研究

5．1加工表面沉积物对表面质量的影响

5．1．1吸附物组分及结构分析

5．1．2表面沉积物的力学特性分析

5．1．3表面沉积物的光学特性分析

5．2表面沉积的抑制和去除研究

5．2．1表面沉积的抑制

5．2．2表面沉积的去除

5．3本章小结

6结论与展望

6．1结论

6．2展望

参考文献

致谢

攻读硕士学位期间发表的论文及成果

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