声明
引言
1β-Ga2O3的基本性质及研究进展
1.1 β-Ga2O3的结构特性
1.2 β-Ga2O3的光学特性
1.3β-Ga2O3的电学特性
1.4β-Ga2O3的气敏特性
1.5β-Ga2O3相关器件的研究近况
1.6 本文研究的主要内容
2β-Ga2O3薄膜材料的制备方法和表征手段
2.1β-Ga2O3薄膜材料的制备方法
2.2β-Ga2O3薄膜材料的表征技术
3 不同Sb掺杂量β-Ga2O3薄膜/p-Si异质结自供电紫外探测器的研究
3.1 实验过程及器件制作
3.2 样品的表征与分析
3.3 结果与讨论
3.4 小结
4 退火对Sb掺杂β-Ga2O3薄膜/p-Si异质结紫外探测性能的影响
4.1 实验过程及器件制作
4.2 样品的表征与分析
4.3 退火对异质结日盲紫外探测器性能的影响
4.4 小结
5 室温Sb掺杂β-Ga2O3薄膜/p-Si异质结气敏传感特性的研究
5.1 实验过程及器件制作
5.2 结果与讨论
5.3 气敏原理解析
5.4 小结
结论
参考文献
攻读硕士学位期间取得成果情况
致谢
辽宁师范大学;
