彩色滤光片用光阻剂的配方及工艺研究

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序

1绪论

2彩色滤光片及彩色颜料光阻剂

2.1彩色滤光片的制备方法

2.1.1染色法

2.1.2颜料分散法

2.1.3印刷法

2.1 4电沉积法

2.1.5喷墨法

2.1.6彩色滤光片制备方法的比较

2.2颜料分散法用光阻剂

2.2.1颜料分散法用光阻剂的组成

2.2.2颜料分散法制备彩色滤光片的工艺

2.3性能检测指标

2.3.1光阻剂性能检测指标

2.3.2像素光阻的性能检测指标

3实验部分

3.1碱可溶性树脂的合成

3.2制备红色滤光片的工艺

3.3检测

3.3.1碱可溶性树脂的检测

3.3.2红色光阻剂的性能检测

3.3.3红色像素光阻的性能检测

4结果与讨论

4.1碱可溶性树脂

4.1.1分子结构

4.1.2十二硫醇对分子量的影响

4.1.3酸值测定及其对溶解性的影响

4.2A、B、C三系列碱可溶性树脂配制的光阻剂性能比较

4.2.1A系列碱可溶性树脂配制的光阻剂

4.2.2B系列碱可溶性树脂配制的光阻剂

4.2.3C系列碱可溶性树脂配制的光阻剂

4.3一种性能优良的光阻剂配方

4.3.1解析度

4.3.2耐高温性

4.3.3耐化性

4.3.4光阻剂的存储稳定性

4.3.5其他性能

4.4几种组分对光阻剂成膜性能的影响

4.4.1光固化树脂对成膜性能的影响

4.4.2环氧树脂对耐候性的影响

4.4.3润湿剂对成膜性能的影响

4.5工艺细节对成片的影响

4.5.1掩模版距离对解析度的影响

4.5.2膜厚对色度的影响

4.5.3曝光量对交联程度的影响

5结论

参考文献

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