基于半导体激光光纤组件的四自由度测量仪的研制

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第一章引言

1.1国内外多自由度测量现状

1.1.1激光干涉测试技术

1.1.2多光束基准法测量技术

1.1.3动态目标全姿态激光跟踪测量

1.1.4多CCD的视觉测量技术

1.1.5利用全息透镜的多自由度测量技术

1.1.6 API公司五自由度测量仪

1.2本论文的研究目标

第二章四自由度测量仪的研制

2.1仪器的总体设计

2.2仪器的测量原理

2.2.1直线度测量原理

2.2.2角度测量原理

2.3测量系统的组成

2.3.1光路部分

2.3.2光电探测器件

2.3.3电路部分

2.3.4软件部分

2.4小结

第三章仪器静态特性实验及分析

3.1仪器的标定

3.1.1直线度的标定

3.1.2角度的标定

3.2仪器的稳定性测量

3.3仪器的重复性实验

3.4仪器的对比性实验

3.4.1定点对比

3.4.2实际导轨测量对比实验

3.5小结

第四章仪器的误差分析

4.1外界环境引起的误差

4.1.1背景光引起的误差

4.1.2空气扰动及温度梯度引起的误差

4.2仪器本身的系统误差

4.2.1光源及准直系统稳定性的影响

4.2.2角度误差对直线度误差的影响

4.3小结

第五章总结

参考文献

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