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Analysis and design of post-CMOS thermally controlled biosensor array microsystems.

机译：后CMOS热控生物传感器阵列微系统的分析和设计。

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摘要

A post-CMOS design and fabrication methodology has been investigated for the generation of a microsystem which supports a protein-based biosensor array with thermal control. Implementation of this microsystem design requires a clear understanding of the various layers and their role in CMOS processing technology, especially when the MEMS structures are to be fabricated post-CMOS. In this work, cost-effective post-CMOS design and fabrication methodology has been developed utilizing an experimentally-derived understanding of the various CMOS layers in the AMI C5F/N 0.5mum process available through the MOSIS service. Derived techniques have been applied to the design of thermally isolated biosensor sites for fabrication on MOSIS integrated circuit die. A study of the laws governing heat transfer has been completed for proper integration of temperature control to the designed biosensor sites. Necessary circuitry for the control and design of the thermal system has been designed and is discussed in this work. The results of this thesis work enable the construction of thermally controlled biosensor array microsystems through basic MEMS fabrication steps.
机译：已经研究了后CMOS设计和制造方法，以生成支持具有热控制功能的基于蛋白质的生物传感器阵列的微系统。这种微系统设计的实现要求清楚地了解各个层及其在CMOS处理技术中的作用，尤其是在CMOS后制造MEMS结构时。在这项工作中，利用对MOSIS服务可用的AMI C5F / N 0.5mum工艺中各种CMOS层的实验得出的理解，开发出了具有成本效益的后CMOS设计和制造方法。衍生技术已应用于热隔离生物传感器站点的设计，以便在MOSIS集成电路芯片上制造。已经完成了有关传热规律的研究，以将温度控制适当地集成到设计的生物传感器位置。已经设计了用于热系统的控制和设计的必要电路，并将在本工作中进行讨论。这项工作的结果使得能够通过基本的MEMS制造步骤来构建热控生物传感器阵列微系统。

著录项

  • 作者

    Dotson, Nathan Andrew.;

  • 作者单位

    Michigan State University.;

  • 授予单位 Michigan State University.;
  • 学科 Engineering Electronics and Electrical.
  • 学位 M.S.
  • 年度 2004
  • 页码 94 p.
  • 总页数 94
  • 原文格式 PDF
  • 正文语种 eng
  • 中图分类 无线电电子学、电信技术;
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