Georgia Institute of Technology.;
机译:使用紫外线可固化正性电子束光刻胶,通过紫外-纳米压印光刻和电子束光刻进行微通道制造
机译:低加速电压电子束光刻中使用无机抗蚀剂制造三维纳米压印模具
机译:通过使用无机嵌段共聚物胶束单层作为电子束光刻的负阻剂制备的微纳米结构界面。
机译:电子束光刻中基于植物的抗蚀剂材料的开发
机译:聚合物抗蚀剂的电子束感应电导率效应和电子束光刻中的电荷感应电子束偏转模拟。
机译:CUO / PMMA聚合物纳米复合材料作为电子束光刻的新型抗蚀剂材料
机译:三维纳米压印光刻使用无机电子束抗蚀剂
机译:具有负性有机和无机抗蚀剂的高分辨率电子束光刻