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首页> 外文学位 >Micro-fabrication of a Mach-Zehnder interferometer combining laser direct writing and fountain pen micropatterning for chemical/biological sensing applications.
【24h】

Micro-fabrication of a Mach-Zehnder interferometer combining laser direct writing and fountain pen micropatterning for chemical/biological sensing applications.

机译：Mach-Zehnder干涉仪的微制造，结合了激光直接写入和钢笔微图案，可用于化学/生物传感应用。

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This research lays the foundation of a highly simplified maskless micro-fabrication technique which involves incorporation of laser direct writing technique combined with fountain pen based micro-patterning method to fabricate polymer-based Mach-Zehnder interferometer sensor arrays' prototype for chemical/biological sensing applications. The research provides methodology that focuses on maskless technology, allowing the definition and modification of geometric patterns through the programming of computer software, in contrast to the conventional mask-based photolithographic approach, in which a photomask must be produced before the device is fabricated.This research lays the foundation of a highly simplified maskless micro-fabrication technique which involves incorporation of laser direct writing technique combined with fountain pen based micro-patterning method to fabricate polymer-based Mach-Zehnder interferometer sensor arrays' prototype for chemical/biological sensing applications. The research provides methodology that focuses on maskless technology, allowing the definition and modification of geometric patterns through the programming of computer software, in contrast to the conventional mask-based photolithographic approach, in which a photomask must be produced before the device is fabricated.
机译：这项研究奠定了高度简化的无掩膜微制造技术的基础，该技术涉及将激光直接写入技术与基于钢笔的微图案化方法相结合，以制造用于化学/生物传感应用的基于聚合物的Mach-Zehnder干涉仪传感器阵列的原型。 。这项研究提供了专注于无掩模技术的方法，与传统的基于掩模的光刻方法不同，该方法允许通过计算机软件的编程来定义和修改几何图案，在传统的基于掩模的光刻方法中，必须在制造器件之前生产光掩模。研究奠定了高度简化的无掩膜微制造技术的基础，该技术涉及将激光直接写入技术与基于钢笔的微图案化方法相结合，以制造用于化学/生物传感应用的基于聚合物的Mach-Zehnder干涉仪传感器阵列的原型。这项研究提供了侧重于无掩模技术的方法，与传统的基于掩模的光刻方法不同，该方法允许通过计算机软件的编程来定义和修改几何图案，在传统的基于掩模的光刻方法中，必须在制造器件之前生产光掩模。

著录项

  • 作者

    Kallur, Ajay.;

  • 作者单位

    University of North Texas.;

  • 授予单位 University of North Texas.;
  • 学科 Chemistry Polymer.Physics Optics.Engineering Electronics and Electrical.
  • 学位 M.S.
  • 年度 2009
  • 页码 117 p.
  • 总页数 117
  • 原文格式 PDF
  • 正文语种 eng
  • 中图分类
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