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Development of a MEMS Fabrication Process on Soi to Study High Strain in Transition-metal Dichalcogenides

机译：SOI研究MEMS制造过程研究过渡金属二甲基甲基甲基α的高菌株

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作者
Acosta, Edgar Josue.;
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作者单位

The University of Texas at El Paso.;

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授予单位 The University of Texas at El Paso.;
学科
学位 M.S.
年度 2020
页码 71 p.
总页数 71
原文格式 PDF
正文语种 eng
中图分类 AAI27999984;
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