Optimization of Al2O3/TiO2/Al 2O3 Multilayer Antireflection Coating With X-Ray Scattering Techniques

著录项

• 作者

  Li, Chao.;

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• 作者单位

  University of California Los Angeles.;

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• 授予单位 University of California Los Angeles.;
• 学科
• 学位 Ph.D.
• 年度 2018
• 页码 103 p.
• 总页数 103
• 原文格式 PDF
• 正文语种 eng
• 中图分类 AAI10751848;
• 关键词

  Antireflection coating; Atomic layer deposition; Gisaxs; XRR;

  机译：抗反射涂层;原子层沉积;吉伊斯;XRR.;