Development of a gas-based spectral filter for carbon dioxide laser produced plasma extreme ultraviolet sources

著录项

• 作者

  Mbanaso, Chimaobi;

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• 作者单位

  State University of New York at Albany;

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• 授予单位 State University of New York at Albany;
• 学科
• 学位 Ph.D.
• 年度 2011
• 页码 187 p.
• 总页数 187
• 原文格式 PDF
• 正文语种 eng
• 中图分类 AAI3490107;
• 关键词

  Carbon dioxide lasers; Extreme ultraviolet; Plasma sources; Spectral filters;

  机译：二氧化碳激光器;极端紫外线;等离子体源;光谱滤波器;