Temperature-Compensated and High-Q Piezoelectric Aluminum Nitride Lamb Wave Resonators for Timing and Frequency Control Applications

著录项

• 作者

  Lin, Chih-Ming.;

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• 作者单位

  University of California Berkeley.;

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• 授予单位 University of California Berkeley.;
• 学科
• 学位 Ph.D.
• 年度 2013
• 页码 192 p.
• 总页数 192
• 原文格式 PDF
• 正文语种 eng
• 中图分类 AAI3593905;
• 关键词

  Aluminum nitride; Lamb wave resonator; MEMS; Piezoelectric; Silicon carbide; Silicon dioxide;

  机译：氮化铝;LAMB波浪谐振器;MEMS;压电;碳化硅;二氧化硅;