宁波材料所在CVD大单晶金刚石合成技术方面取得进展

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中国科学院宁波材料技术与工程研究所“功能碳素材料团队”以实现金刚石精密工具的国产化和产业化为目标，最近在CVD（chemicalvapordeposition：化学气相沉积）单晶金刚石合成方面取得了突破性进展。团队从国产微波等离子体CVD设备设计改造着手，开发了高密度、高稳定性的金刚石沉积装置。与国外设备相比，成本降至百分之三十。

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来源
《磨料磨具通讯》 |2014年第12期|P.5-5|共1页
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正文语种 CHI
中图分类各种材料刀具;
关键词
单晶金刚石; CVD设备; 碳素材料; 合成技术; 宁波; 化学气相沉积; 微波等离子体; 中国科学院;

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