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研磨和抛光材料去除机理(二)

         

摘要

抛光盘通常由被衬以固体膜、毛毡、泡沫塑料或者纤维垫的刚性盘组成。结合工件-磨粒-抛光盘相互作用的材料去除机理将在负载特性部份讨论。一个极端情况是整个负载是由抛光盘、工件和磨粒之中的磨粒承担。另外一种极端情况是整个负载由抛光盘(垫)承担。通常,抛光加工是在这两种极限情况中间进行。

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