CN1528564超精密研磨用膜片

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超精密研磨用膜片，它涉及一种新型的研磨用量。它为薄片状结构，沿膜片的厚度方向依次为软基体的底膜层和磨料层，在磨料层内均匀的固着有磨料，底膜层和磨料层均由树脂材料制成，磨料层中的磨料为人造金刚石磨料、立方氮化硼磨料、氧化物磨料或碳化物磨料。本发明研制出磨料在固着状态下磨削的工具，从而改变了传统的研磨工艺，使磨削工艺具有研磨效果好、效率高、可以加工复杂元件、能够实现加工过程自动化、不污染环境的优点。

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来源
《磨料磨具通讯》 |2006年第11期|16|共1页
作者

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作者单位

无;

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正文语种 CHI
中图分类研磨加工;
关键词
超精密研磨; 膜片; 金刚石磨料; 磨削工艺; 立方氮化硼; 过程自动化; 片状结构; 厚度方向;

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