键合方法对聚二甲基硅氧烷液滴型微流控芯片的影响

著录项

• 来源
  《化学学报》 |2009年第13期|1503-1508|共6页
• 作者

  李俊君; 陈强; 李刚; 朱自强; 赵建龙;

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• 作者单位

  华东师范大学物理系;

  上海;

  200062;

  中国科学院上海微系统与信息技术研究所;

  上海;

  200050;

  中国科学院上海微系统与信息技术研究所;

  上海;

  200050;

  中国科学院上海微系统与信息技术研究所;

  上海;

  200050;

  华东师范大学物理系;

  上海;

  200062;

  中国科学院上海微系统与信息技术研究所;

  上海;

  200050;

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• 原文格式 PDF
• 正文语种 chi
• 中图分类 化学;
• 关键词

  聚二甲基硅氧烷; 液滴型微流控芯片; 等离子键合; 热扩散键合;