基于硅基三维集成技术的W频段有源相控阵微系统

杨驾鹏; 周骏; 曹志翔; 孟洪福; 沈亚

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基于硅基三维集成技术的W频段有源相控阵微系统

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本文基于硅基三维集成技术,提出了一种高集成度低剖面的W频段有源相控阵微系统.将阵列划分为若干个2×4单元的W频段相控阵子阵微系统.每个子阵微系统采用了三维布局封装结构,内部一体化集成了天线、有源芯片和无源网络等功能单元.以子阵微系统为基本单元,利用阵列扩展技术将8个子阵微系统拼接成为8×8单元的W频段有源相控阵阵列.设计了高耦合度低损耗的CPW共面波导(co-planar waveguide,CPW)传输线、基于TSV硅通孔(through silicon via,TSV)的准同轴垂直传输结构、基于微凸点的hot-via芯片接口等高频传输结构,解决了天线阵列到有源芯片的W频段信号层间传输难题.样机加工测试结果表明,92~96 GHz频率范围内,该相控阵阵列可实现二维波束快速扫描功能,扫描角达到±40°,重量仅为85 g,剖面厚度仅为7.4 mm.

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来源
《电子学报》 |2023年第8期|2160-2167|共8页
作者
杨驾鹏; 周骏; 曹志翔; 孟洪福; 沈亚;
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作者单位

南京国博电子股份有限公司;

东南大学毫米波国家重点实验室;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类 TN927.23;
关键词
W频段; 微系统; 三维集成; 有源相控阵;

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