MEMS薄膜平均应力梯度及弹性模量在线提取方法

戎华; 黄庆安; 王鸣

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提出了一种利用静电作用下悬臂梁的吸合电压提取MEMS薄膜沿厚度方向的平均应力梯度及弹性模量的方法,该方法的关键在于实现悬臂梁吸合电压的快速、精确计算.考虑了悬臂梁由应力梯度引起的沿宽度方向的弯曲,提高了吸合电压的计算精度.实际模拟表明该测量方法计算速度快、精度高,能够应用于实际工艺过程中材料参数的在线测量.

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来源
《电子学报》 |2007年第2期|311-314|共4页
作者
戎华; 黄庆安; 王鸣;
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作者单位

南京师范大学光电技术江苏省重点实验室,江苏南京,210097;

东南大学MEMS教育部重点实验室,江苏南京,210096;

东南大学MEMS教育部重点实验室,江苏南京,210096;

南京师范大学光电技术江苏省重点实验室,江苏南京,210097;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类薄膜中的力学效应;薄膜测量与分析;
关键词
悬臂梁; 吸合电压; 平均应力梯度; 弹性模量;

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