一种新型的高性能微通道板离子阻挡膜

闫金良

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微通道板(MCP)离子阻挡膜在Ⅲ代微光像管中起到延长寿命备方法的优缺点,提出一种在MCP输入面制备离子阻挡膜的新型工艺,此工艺不造成MCP通道壁内表面碳污染.在MCP输入面制备了4nm厚A12O3离子阻挡膜,测量了MCP离子阻挡膜的离子阻挡特性和电子透过特性.实验表明,4nm厚A12O3离子阻挡膜能有效地阻止反馈离子,透过电子.

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来源
《电子学报》 |2004年第6期|1023-1025|共3页
作者
闫金良;
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作者单位

烟台师范学院物理系,山东,烟台,264025;

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正文语种 chi
中图分类部件制备;微光技术、微光夜视仪;
关键词
微通道板; 离子阻挡膜; 像管;

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