工艺综合与响应表面法的应用

鲁勇; 张文俊; 郑期彤; 李成; 杨之廉

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工艺综合与响应表面法的应用

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工艺综合是一种自顶向下的工艺、器件设计方法.MOSPAD软件系统是基于工艺综合的思想开发的工艺与器件辅助设计工具.本文通过使用MOSPAD系统,对工艺改进中的实际问题采用工艺综合的方法,确定正确的工艺条件.在工艺综合系统中使用响应表面法加快其综合的速度,并利用响应表面模型以分析工艺窗口造成的灵敏度问题.

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来源
《电子学报》 |2002年第9期|1274-1277|共4页
作者
鲁勇; 张文俊; 郑期彤; 李成; 杨之廉;
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作者单位

清华大学微电子学研究所,北京,100084;

清华大学微电子学研究所,北京,100084;

清华大学微电子学研究所,北京,100084;

清华大学微电子学研究所,北京,100084;

清华大学微电子学研究所,北京,100084;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类制造工艺;
关键词
工艺综合; 优化; 响应表面法(RSM); 工艺窗口;

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